韩国媒体:韩国本土企业在EUV光刻技术方面取得了显著进步
2007年11月16日据韩国媒体《韩国商业周刊》上周报道,韩国本土企业在EUV光刻技术方面取得了长足的进步。但是没有提到是哪家公司,应该合理的指韩国整个半导体光刻行业。
来源业务韩国
EUV光刻是许多先进技术的综合体,例如多层反射镜、多层掩模、保护膜、光源和注册表。
在过去的十年里,包括三星电子在内的全球公司都进行了深入的研发,以确保技术处于领先地位。最近,代工公司(指三星)开始使用5纳米EUV光刻技术为智能手机生产应用处理器(AP)。
按公司统计,全球六大公司的专利申请数量占总数的59%,卡尔蔡司(德国)占18%,三星电子(韩国)占15%,ASML(荷兰)占11%,SS Tech(韩国)占8%,TSMC(台湾)占6%,SK Hynix(韩国)占1%。
从具体的技术项目来看,31%的专利申请了曝光器件技术,28%的专利申请了掩膜技术,9%的专利申请了其他专利。在工艺技术领域,三星电子占39%,TSMC占15%。口罩领域,SS技术占28%,霍亚(日本)占15%,汉阳大学(韩国)占10%,朝日玻璃(日本)占10%,三星电子占9%。
据悉,韩国媒体也提到了韩国专利的数量。根据韩国知识产权局(KIPO)发布的《近 10 年 (2011-2020 年)专利申请报告》,2019年,韩国提交的专利申请数量为40件,超过了外国企业提交的10件。
韩国媒体称,这是韩国提交的专利申请数量首次超过外国企业。到2020年,韩国提交的专利申请数量将是外国企业的两倍以上。
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